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Horiba stec MFC D700MG表示差圧式マスフローコントローラ付堀场

船便:{{ product.price_format }} 船便納期:発注から納品まで約30日前後

OCS:{{ product.price_format2 }} OCS纳期:発注から納品まで約14日前後

※単価についての注意事項：船便の単価が適用されるには、今回の仕入において（他の商品も含めた）、消費税抜きの仕入総合計金額が20万円以上の場合となります。総合計が20万円未満の場合はシステムで自動的にOCSの単価が適用されます。

在庫あり:

SKU:{{ product.sku }}

モデル: {{ product.model }}

属性

ORIGIN 日本

輸入するかどうかいいえ

注文番号 8988

加工とカスタマイズいいえ

商品番号 8988

ブランド HORIBA

モデル D700MG

測定範囲 0~10LPM

精度レベル読み取り値の精度 1%

信号を出力する Device-net/4-20mA

動作電圧 24

使用温度室温

呼び径 1/100

国境を越えた輸出に独占的に供給するかどうかいいえ

仕様 D700MG

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製品詳細

热式质量流量计 D700MG

产品规格型号

Vvv技术

热质量

类型

质量

液体类型

用于气体

其他特性

数码, 精准

质量流量

最少: 0 l/min
(0 us gal/min)

最多: 0.1 l/min
(0.0264 us gal/min)

工艺温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 80 °C
(176 °F)

工艺压力

最少: 1.1 bar
(15.95 psi)

最多: 3.5 bar
(50.76 psi)

重复精度

最少: 0.02 %

最多: 0.3 %

产品介绍

关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备，以实现未来的创新，以及领先的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 为流程优化提供灵活性 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制提供高生产力和更大的过程性能小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）为需要小流量的工艺提供灵活性 PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量状态监控功能为更智能的故障预测提供更多的内部数据状态监控功能的输出项流量/压力调零计数阀门驱动计数记录最大/最小P0,P1,P2压力最大/最小块温度记录总时间超过/低于压力规格总时间超过/低于温度规格总工作时间总控制时间总流动时间(每个校准实例) 总流量(每个校准实例)

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